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真空泵的類型非常多烈拒,劃分方法也多樣:
按工作原理分:容積變化泵(如旋片泵嚷量、渦旋泵等)陋桂;動量傳輸泵(如分子泵、擴(kuò)散泵等)蝶溶;吸附捕集泵(如低溫泵嗜历、離子泵、吸氣劑泵)
按工作介質(zhì)分:干式泵(如渦旋泵抖所、分子泵梨州、離子泵等)和非干式泵(如旋片泵、擴(kuò)散泵等)
按真空度分:低真空泵(如旋片泵田轧、渦旋泵暴匠、羅茨泵等)、高真空泵(如分子泵傻粘、擴(kuò)散泵每窖、低溫泵等)、超高真空泵(如離子泵迹遏、鈦升華泵菊蹬、吸氣劑泵等)