1蔗彤、 充氦充氮氟油檢漏平臺

　　充氦充氮氟油檢漏平臺是對半導體器件進行密封性、可靠性粗檢漏的**設備女器，它與氦質譜檢漏儀配套使用侈吨，完成GJBI128A-97國家標準和GJB548-96**標準中诗芜，對半導體器件零件進行氦加壓精檢漏和充高壓氟油粗檢漏要求恨闪。

　　此平臺的工作過程是：

　　1究飞、氦精檢漏實驗置谦，將半導體零件或器件置于高壓容器中，按國家標準中的規(guī)定亿傅，根據(jù)被檢件的體積大小媒峡，施加不同的壓力和氦氣，保持不同時間葵擎，減壓后把被檢件從容器中取出來谅阿，在氦質譜檢漏儀上檢漏，根據(jù)漏率值判斷是否合格某蛆。

　　2碴秽、粗檢漏實驗，將精檢漏后的被檢件放入真空加壓罐中抽真空诸跳，注入一定量的氟油承叫，再保壓一定時間，放空取出后彼使，放入專門加溫的氟油中,根據(jù)有無氣泡判斷是否合格织鳖。全過程連貫進行，操作簡單,安全可靠,工作環(huán)境清潔接馏。

2卷哟、多工位高真空排氣檢漏臺

　　多工位氦質譜檢漏高真空排氣檢漏裝置適用于工業(yè)領域高壓開關管、微波發(fā)射管等要求大批量、多品種役躬、高靈敏度划烫、快速檢漏產(chǎn)品的檢漏設備。

　　該系統(tǒng)由檢漏儀和檢漏平臺兩部分組成竿刁，檢漏儀用于判斷工件是否泄漏;檢漏平臺對工件進行真空預抽黄锤，檢漏平臺有左右兩組相互獨立的檢測工位，每組工位設置了1-3個檢測接口;一組工位抽真空的同時食拜，另一組工位進行檢測或裝卸工件鸵熟，縮短了檢測周期，提高了工作效率负甸。由可編程工業(yè)控制器(PLC)對檢測全過程進行自動控制流强，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性、可靠性呻待，操作十分簡單打月，方便了使用者。

　　主要技術指標和參數(shù)：

　　1蚕捉、電源: 220V 12A

　　2奏篙、真空度:5×10-3 Pa·m3/S

　　3、工作節(jié)拍空載:20S/拍

　　4迫淹、啟動時間:<10min

　　5秘通、響應時間: <5S

　　6、壓縮空氣: 5～6kg

　　7升筛、環(huán)境溫度: 5～35℃

　　8振沾、空氣相對濕度: <80

　　9、工作環(huán)境附近無強磁場柳竟、無劇烈震動莽恩、無腐蝕性氣體;室內(nèi)通良好，以避免氦氣干攏慰乾。

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